엑시머레이저를 이용한 마이크로 머시닝

엑시머레이저를 이용한 마이크로 머시닝에 대한 텀프로젝트 레폿트입니다. 도서관에서 직접모은 자료와 야후(미국)에서 조사한 사진자료가 풍부합니다.

1.레이저

2.엑시머레이저

3.엑시머레이저를 이용한 가공기술

엑시머레이저를 이용한 마이크로 머시닝
1. 1. 1. 레이저(laser)란 무엇인가?
가. 정의
․레이저(laser)란?
' light amplification by stimulated emission of radiation '
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이란 영어의 각 단어 머리글자를 따서 조합한 합성어로서 우리말로 옮기면
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'복사의 유도방출 과정에 의한 빛의 증폭
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'이란 뜻이고, 일반적으로 레이저란 말은 레이저 빛을 발생하는 장치를 지칭하기도 한다. 주로 마이크로파 영역의 전자기파를 발진․증폭하는 것을 메이저, 적외선 또는 가시광선 영역의 전자기파를 발진하는 것을 광메이저 또는 레이저라고 총칭한다. 1958년 C.H.타운스 등에 의하여 처음에 암모니아메이저가 발명되었다.
나. 레이저의 특징
․ 간섭성(coherence)
레이저광의 첫 번째 특징은 간섭성이 우수함을 들 수 있다. 레이저광은 음파와 같이 공간적, 시간적으로 위상을 유지하고 있다. 전등 또는 형광등의 보통광원은 공간적, 시간적으로 일정하지 못함은 물론 광파의 진폭, 주파수가 서로 다른 불규칙한 파의 집합으로 간섭현상이 일어나지 않는다. 파동의 간섭성은 임의의 파가 정확한 sin곡선과 같은 형태로 전파됨을 말하고, 부분적 파의 간섭현상은 제한된 시간과 공간 내에서 관측되어진 파형이 sin파인 경우를 말한다. 태양에서 복사되어 나온 빛과 전구에서 나오는 빛인 백색광은 자연광이다. 그러므로 한 가지 파장만 가진 광파가 나오는 것이 아니라, 여러 가지의 길고 짧은 파장들이 모두 한데 복합되어져 이루어진 빛을 의미한다. 또 그들은 임의의 방향으로 골고루 방사되어 어느 한 시점에서 한 방향으로만 원자의 운동을 고찰하기 어려워, 이 경우에 통계적으로 원자(atom)의 운동을 설명한다.
․ 단색성(monochromaticity)
단색성(monochromaticity)이란 단일 주파수, 즉 단일색으로 구성된 빛을 말한다. 레이저는 파동으로서 연속된 빛을 만들 수 있으며 시간이 경과해도 파동의 파장은 변하지 않고, 아주 좁은 스펙트럼이 생겨 단색성이 좋은 빛이 얻어진다. 단색성을 얻을 목적으로 에너지 준위(energy level)의 퍼짐이 적은 가스가 충전된 방전관(discharge tube)으로부터 나오는 빛을 사용하지만 레이저 공진기에서는 더욱 좁은 파장폭의 단색광을 만들 수 있다.

1) '레이저 원리 및 활용' 김기준, 이종선, 성기천, 양재웅, 이후설 共著, 대영사, 1997
2) '레이저 기초원리 와 응용'송순달 著, 청문각, 1999
3) '현대물리학' Arthur Beiser , 교보문고 , 1996
4) 두산 세계 대백과 사전
5) IHI ENGINEERING REVIEW, vol.28, 123.
6) 後藤 외, 엑시머 레이저에 의한 잉크제트 프린터용 헤드의 노즐 가공,
7) 제35회 레이저 열가공연구회지, vol.2, (1995)
8) 'CD-ROM 으로보는 레이저과학' 공홍진, 김병태, 박찬웅, 윤근영, 조관식, 공역, 북스힐, 2002
9) 레이저와 청정가공, 이종명 著, 한림원, 2002
10) 레이저 기초원리와 응용, 송순달 著, 請文閣, 1999
11) 최신레이저가공학, 이백연 著, 삼성북스, 2002