공정은 다음과 같이 주로 네가지 방법에 의해서 만들어진다.
(1) 초저압 화학기상 증착법 (VLPCVD, LPCVD)
(2) 열처리에의한 고상 재결정법 (SPC, RTA)
급속 열처리에의한 재결정법 (PRTA)
(3) 직접 증착법 (PECVD, RPCVD, ECR-CVD, ICP-CVD)
(4) 엑시머레이
공정의 공정관리 목적으로 사용된다. 발생 가능한 불량 유형별 고객에 대한 영향의 정도, 발생 빈도, 불량 발견의 용이성을 평가하고 그 우선순위를 파악하여 우선순위가 높은 불량 유형부터 조치를 취한다.
3. 고장나무 해석(Fault Tree Analysis :
